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气体经过设备但是MFC显示负流量没有流量信号的原因分析

来源:3868.com作者:澳门新葡亰最新地址发表时间:2016-05-21 09:16:31

是将MFC显示/输出与没有气体经历的装置的流量信号(或负流量)?

         有许多原因,这可能会发生,例如在安装方向的变化,环境温度,或处理压力。而从布鲁克斯仪器质量流量控制器(流量控制器)是已知的稳定性和最小的长期漂移,从MFC流量信号或过程变量(PV)可能随时间漂移。

          为了确保非常好的的精度,建议在初始安装和以后定期到零的MFC。要知道的最好的方式,当将MFC需要被重新归零是看是否有在零流动条件流量信号(正或负)。请记住,MFC阀门是精密控制阀,不积极关断阀,所以可能存在少量阀泄漏通过。

关闭下游关断阀,并打开使用设定值或阀倍率(VOR)open命令MFC的阀门

到零您的设备,建议您按照下列步骤操作:

允许在至少45分钟的预热时间才能到正常的工作温度
优选为零的工艺条件(意味着进口压力应该是相同的器件正常工作)
关闭下游关断阀,并打开使用设定值或阀倍率(VOR)open命令MFC的阀门。这将填补行到截止阀和压力将在MFC的相等。
允许最低稳定30秒
监视输出(PV)信号
对于数字设备,按零按钮直到LED指示装置重新归零。当零过程完成的LED指示灯变为绿色。光伏信号应该为零。必要时重复进行。
另外,数字设备可以使用服务工具(BSS或BEST)布鲁克斯仪器重新归零。
归零按钮上MFC

为模拟设备,监视输出信号,直到零达到调整零电位。
删除VOR开启命令和/或设置点
打开下游关断。监控任何流量指示光伏。如果看到流量,这可能是在阀泄漏通过如上所述。
布鲁克斯仪器微生物燃料电池在出厂时调零。初始调零可在安装时是必要的。通过设置该装置,在第一五个步骤上面,您可以决定是否需要一个初始调零,或者如果它是好去。
 

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